單晶爐制造設備,單晶爐制造設備有哪些
大家好,今天小編關(guān)注到一個(gè)比較有意思的話(huà)題,就是關(guān)于單晶爐制造設備的問(wèn)題,于是小編就整理了4個(gè)相關(guān)介紹單晶爐制造設備的解答,讓我們一起看看吧。
單晶爐設備常見(jiàn)故障及維修?
單晶爐設備的常見(jiàn)故障及維修如下:
1. 爐體溫度不穩定:可能是爐體內部溫度傳感器損壞或者控制系統故障,需要更換或者修復。
2. 爐體壓力異常:可能是爐體內部壓力傳感器損壞或者控制系統故障,需要更換或者修復。
3. 爐體加熱不均勻:可能是加熱元件損壞或者控制系統故障,需要更換或者修復。
4. 爐體內部結晶不良:可能是晶體生長(cháng)條件不足或者晶體生長(cháng)過(guò)程中出現異常,需要檢查晶體生長(cháng)條件和過(guò)程,進(jìn)行調整。
5. 爐體內部氣氛異常:可能是氣氛控制系統故障或者氣氛流動(dòng)不暢,需要檢查氣氛控制系統和氣氛流動(dòng)情況。
6. 爐體內部真空度不足:可能是真空泵故障或者真空密封不良,需要檢查真空泵和真空密封情況。
以上是單晶爐設備常見(jiàn)故障及維修方法,需要根據具體情況進(jìn)行維修。建議在維修前先進(jìn)行設備的安全檢查,確保維修過(guò)程中不會(huì )出現安全事故。
直拉硅單晶爐機械部分主要是什么?
直拉單晶爐機械結構的工作原理:直拉單晶爐是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長(cháng)無(wú)錯位單晶的設備。直拉單晶爐機械結構如下:
單晶爐加熱器如何啟動(dòng)?
基本原理:多晶體硅料經(jīng)加熱熔化,待溫度合適后。經(jīng)過(guò)骸籽晶浸入,熔接,引晶,放肩,轉肩,等經(jīng),收尾等步驟,完成一根單晶錠的拉制。
金屬單晶,由于所有的真空系統都會(huì )存在漏氣,所以如果空氣對駭體的質(zhì)量影響較大就要采用氣氛保護。我生長(cháng)單晶的時(shí)候用的是高純Ar,生長(cháng)時(shí)大概有十幾個(gè)大氣壓吧。生長(cháng)氣氛主要還是根據你具體生長(cháng)的材料和你設備可以保持的真空度而定,如果你的爐子保壓不是很好,而且設計當中也可以承受一定的正壓就建議使用正壓生長(cháng)。
直拉單晶硅生產(chǎn)過(guò)程中的拆爐流程是在收尾完成后停爐6個(gè)小時(shí)左右的時(shí)間進(jìn)行的,正常情況下是取出晶體,對爐內的揮發(fā)物進(jìn)行清除,并用酒精擦洗。檢查熱場(chǎng)(石墨托碗、加熱器、電極等)是否正常,并根據生產(chǎn)爐次對機械真空泵進(jìn)行清洗換油。然后進(jìn)入下一爐的生產(chǎn)流程:裝料---抽真空----化料----拉制----停爐---拆爐。
硅棒的生產(chǎn)過(guò)程?
硅料回收 硅料——拉單晶做成硅棒——切方做成硅塊——切片做成硅片
——定向凝固做成硅錠——切方做成硅塊——切片做成硅片
,一般來(lái)說(shuō),硅錠需要經(jīng)過(guò)開(kāi)方/截斷--切割--清洗 就變成硅片。 其切割過(guò)程主要有兩種方式:線(xiàn)切割和內圓切割硅錠是將硅料熔化后結晶成型,硅錠通過(guò)機加工成硅方棒,然后通過(guò)多線(xiàn)切割技術(shù),將方棒切成片。硅片硅料包括原生多晶硅料和單晶硅回用料,原生多晶硅一般稱(chēng)為正料,其純度較高,價(jià)格亦不菲;單晶硅回用料如單晶硅棒頭尾料、邊皮料、堝底料、電池片經(jīng)過(guò)清洗處理后得到的原料等。將硅料在單晶爐(在太陽(yáng)能級單晶硅的生產(chǎn)工藝中以直拉爐較為常見(jiàn))中融化后再經(jīng)過(guò)一系列工序可生長(cháng)成單晶硅棒子,對單晶硅棒子進(jìn)行后續機加工,得到單晶硅錠,再使用切片機器對硅錠進(jìn)行切片加工,則得到硅片。
多晶生長(cháng)出來(lái)的形狀由其生產(chǎn)工藝決定,有的是棒狀, 當然,敲碎了即為塊狀。
硅晶棒的生產(chǎn)過(guò)程:用做硅電元件和硅光電池用的原材料是硅晶棒。他的生產(chǎn)包括:晶棒成長(cháng)〉晶棒裁切與檢測〉外徑研磨〉切片〉圓邊〉表層研磨〉蝕刻〉去疵〉拋光〉清洗〉檢驗〉包裝。
到此,以上就是小編對于單晶爐制造設備的問(wèn)題就介紹到這了,希望介紹關(guān)于單晶爐制造設備的4點(diǎn)解答對大家有用。